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碳化硅晶片废水处理的流程和工艺和排放标准
时间:2023-03-07 13:54:22    来源:https://www.tianzehb.com     作者:天泽环保

硅锭切片后,用水枪将硅片表面切削砂浆(由切削液和金刚砂配制,主要成分为聚乙二醇和碳化硅)和硅粉喷洗干净,产生预清洗废水。预清洗废水水量大、有机物浓度高,是硅片生产废水中最难处理的一股废水。

昆明污水处理工程
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生产废水主要包括:

(1)切磨废水。开方硅锭经少子寿命测试后,截断无效部分,对断面磨光打平,产生研磨废水,废水主要成分为硅粉。

(2)预清洗废水。

(3)超声波清洗废水。酸洗后硅片采用超声波技术用大量超纯水清洗,该股废水水量大,污染较小。厂区目前生产废水约960m3/d,已接近满负荷生产。

生产废水处理方法

1、物理法。格栅是由一组平行的金属栅条制成的金属框架,斜置在废水流经的渠道上,或泵站集水池的进口处,用以截阻大块的呈悬浮或漂浮状态的固体污染物。可以将单晶硅废水中的大颗粒物质进行拦截,进而回收可用物质。

2、物化处理法。将废水经过提升泵抽送的作用下抵达到沉淀池,投入絮凝剂。其中悬浮物的胶体及分散颗粒在分子力的相互作用下生成絮状体且在沉降过程中它们互相碰撞凝聚,其尺寸和质量不断变大,沉速不断增加,然后沉淀。



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